共用設備のリモート化・スマート化の整備情報
| 設備名 | シリコン深掘りエッチング装置（設備詳細ページ1, 設備詳細ページ2） |
| 設置部局・部署 | 工学研究科 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター |
| 用途 | 高アスペクト比シリコンエッチング |
| 整備内容 | 半導体微細加工装置(2台)のリモート化整備（CFC事業） |
| 整備年度 | 令和5年度 |
リモート化概要
マイクロ・ナノマシニング研究教育センターは100台を超えるマイクロ・ナノマシニング関係の共用装置を有し，本格的にMEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微小電気機械システム）デバイス／集積回路を試作できる施設です．
共用装置のひとつであるシリコン深掘りエッチング装置は，MEMSデバイスのような高機能デバイスを作製するために不可欠な装置です．当センターでも使用頻度が高い装置である一方，搬入するサンプル由来のトラブルや利用者の操作ミスによるトラブルが多く発生し，その都度装置担当者が対応に追われる状態でした．また，本装置はクリーンルームの中に設置されており，3階スタッフルームから1階クリーンルームへの移動やクリーンウエアの着脱衣によるタイムロスで迅速な対応が困難でした．
今回，CFCのリモート・スマート共用環境整備によって2台のシリコン深掘りエッチング装置のリモート化とタブレット端末を導入したことにより，トラブル対応の迅速化及び省力化を図ることができました．
IP-KVMを導入した2台のシリコン深掘りエッチング装置
成果
シリコン深掘り加工装置2台のリモート化と会議システム接続を目的としたタブレット端末の設置により，トラブル発生時にも迅速な対応ができる環境を構築することができました．また，装置状態を頻繁に監視できるようになったことで装置の異常に早期対応できるようになりました．これにより，移動時間の削減や入退室の頻度が減少し作業効率の向上だけではなく，装置のダウンタイム削減に貢献しました．
加えて，タブレット端末によって，クリーンルーム内全ての設備・機器のトラブルや問い合わせ対応が可能になったこととクリーンルーム内に居ながらにして映像を確認しながらのプロセス相談にも迅速に対応できるようになりました．
