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【整備情報】電子顕微鏡の遠隔モニタリング

共用設備のリモート化・スマート化の整備情報

設備名共通機器(FE-SEM, CP, FE-EPMA, FIBSEM, XPS, 多目的XRD, 単結晶XRD)
設置部局・部署産学連携先端材料研究開発センター・共用機器室
用途遠隔地からの共用機器の監視及び利用者の支援
整備内容共通機器のリモート化整備(スイッチボット監視カメラ W3101100 6台、他を導入(CFC事業))
整備年度令和5年度

リモート化の概要

 本センターは多数の共用分析機器を有しその管理者及び利用者は多数の部局に渡る。その為、管理者が不在の状態で利用者が共用機器を運転する事が多く、更に管理者の所在が近隣の建物である事も稀であり、トラブル発生時に利用者管理者双方の負担となっていた。そこで、本事業によりリモート環境から装置の状態を確認し利用者とのコミュニケーションを可能とする為にカメラ(スイッチボット W3101100)及びタブレットPC(TAB M10 PLUS)を導入した。

成果

 スイッチボットを導入することで、装置担当者および装置使用者について主に下記の効果が確認できた。

  • 装置使用者が装置トラブルや使用方法について装置担当者に遠隔から来てもらう必要が大幅に減り、装置利用者の待ち時間や装置担当者の移動時間の削減
  • 装置担当者が自動測定を仕掛けた場合や装置状態の確認が必要な場合に遠隔から装置状態が確認できるため、何度も装置の所に来る必要が無くなり必要に応じて装置の所に来ることで済んだ

 これらにより、装置担当者および装置使用者の業務改善が可能となり、今後もこのシステムを使用することで、改善状態を継続できると期待している。

a. 多目的XRD装置内部の撮影
b. FE-SEM装置のPC撮影
c. 遠隔地での視聴の様子

図1 リモート化設備使用の様子(a, b:装置利用者側、 c:遠隔地の管理者側)
aでは装置の状態を、bではネットワークに接続できない制御用PCの状態を撮影・共有している。